独家国产陶瓷加热器，开启半导体核心部件替代：珂玛科技

在当今材料科学的版图上，陶瓷材料与金属材料、高分子材料并列为三大固体材料。尽管在日常生活中陶瓷随处可见，但在半导体、航空航天等尖端科技领域，先进陶瓷则是不可或缺的核心基石。

风云君今天要聊的珂玛科技（301611.SZ），正是这样一家深耕先进陶瓷材料，并在半导体设备领域逐步打破国外垄断的国产先锋。

一、六大材料体系下的定制化专家

珂玛科技成立于2009年，总部位于江苏苏州。公司的主营业务聚焦于先进陶瓷材料零部件的研发、制造、销售、服务，以及泛半导体设备的表面处理服务。

经过多年的技术积累，公司已构建起由氧化铝、氧化锆、氮化铝、碳化硅、氧化钇和氧化钛六大类材料组成的先进陶瓷基础材料体系。基于这些基础材料，公司累计设计开发了一万余款定制化零部件。

这些产品的性能在耐腐蚀、电绝缘、高导热和强机械性能等方面，均已达到国际主流客户的严格标准。

从产业链位置来看，珂玛科技处于半导体设备制造的上游。其先进陶瓷材料零部件主要用于半导体制造的前道工序，覆盖了刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散等核心环节。

除了半导体这一核心战场，公司的产品还延伸至显示面板、LED、光伏制造，以及电子材料粉体粉碎、汽车、纺织和生物医药等多元化领域。

二、国产先进陶瓷的领军企业

在先进结构陶瓷领域，珂玛科技的地位不言而喻。根据相关数据，2021年公司占国产半导体设备先进结构陶瓷采购总规模的14%。若进一步细分到先进结构陶瓷的国产供应商，公司的占比高达72%，是该领域的绝对领军者。

这种领先地位得益于公司对全工艺流程技术的掌握，从材料配方到零部件制造，珂玛科技实现了全流程的自主可控。公司目前是国内少数通过国际头部半导体设备厂商认证，并被其批量采购的先进结构陶瓷企业之一。

在国内市场，珂玛科技深度绑定了北方华创（002371.SZ）、中微公司（688012.SH）、拓荆科技（688072.SH）、上海微电子等主流设备厂，以及知名晶圆厂。值得一提的是，公司曾连续多年获得北方华创的全球金牌供应商奖项，客户粘性极强。

三、核心赚钱逻辑：从结构件到功能模块的跃迁

珂玛科技的核心盈利逻辑在于从传统的“结构件”向高难度的“功能-结构”一体模块化产品实现跨越，并借此推动国产替代。

在半导体制造设备中，陶瓷零部件大多应用于更接近晶圆的腔室内，环境极其恶劣，对材料性能和加工精度要求极高。

公司早期主要提供圆环圆筒、气流导向、手爪垫片等结构件产品。随着研发的深入，公司开始在陶瓷加热器、静电卡盘和超高纯碳化硅套件等“卡脖子”产品上发力。

这些模块化产品的单体价值更高，技术壁垒更厚。以陶瓷加热器为例，它是薄膜沉积设备中的核心部件，直接影响晶圆的制造良率。

此前，全球市场主要由日本碍子垄断，市场份额超过50%。而珂玛科技目前是该产品的独家国产供应商，解决了下游晶圆厂在CVD设备上的关键零部件短缺问题。

这种独家供应地位不仅带来了业绩的爆发式增长，也赋予了公司更强的溢价能力。

四、关键产品线的进展 1、陶瓷加热器

陶瓷加热器是公司目前的拳头产品。截至2025年6月末，公司已累计生产并交付超过1000支。

目前，公司的陶瓷加热器已成功切入国内半导体晶圆厂及主流设备厂供应链，广泛装配于SACVD、PECVD、LPCVD、ALD、PVD和激光退火设备。2025年上半年，公司将原有产线搬迁至先进材料生产基地，产能利用率显著提升。

2、静电卡盘

静电卡盘主要通过静电吸附硅片，是刻蚀机等设备的核心模块。目前全球第一大供应商为日本特殊陶业。

珂玛科技的8寸静电卡盘已完成验证并开始小批量产，12寸静电卡盘也已通过半导体设备厂B公司的验证，正在终端客户进行推广。公司已在苏州新生产基地规划了静电卡盘量产专用线，以满足未来放量需求。

3、超高纯碳化硅套件

超高纯碳化硅套件主要与北方华创合作。其中，6寸非渗硅套件已于2024年量产交付，8寸产品已完成验证，12寸渗硅套件的部分部件也已通过验证。

目前全球市场由CoorsTek主导，份额超过80%，珂玛科技的切入将为国产供应链安全提供重要保障。