英诺激光- 极紫外光刻机突破+PCB钻孔+ABF载板钻孔-打造公司新的增长极!

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秋名山白神
 · 辽宁  

最近一段时间大科技题材光刻机、国产GPU、液冷和PCB上游设备耗材都走出了难得的持续性主升浪行情。海立股份东芯股份淳中科技科创新源等股票接近翻倍,大族激光最近几个交易日涨幅也接近50%,下面给老师们推荐个低位的逻辑还未充分挖掘的股票-英诺激光

英诺激光- 国产极紫外光刻机突破性进展+PCB钻孔+ABF载板钻孔+晶圆检测-打造公司新的增长极!
$英诺激光(SZ301021)$ $海立股份(SH600619)$ $大族激光(SZ002008)$

去年英诺激光因为发布了高功率薄片超快激光器研发消息3天2个20cm!!!

首先先看个去年的新闻,里面有惊喜!

2024年7月14日,由英诺激光牵头的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目启动会在深圳成功召开。ZG工程院院士、深圳大学特聘教授范滇元教授,zg科学院大连化学物理研究所化学激光先进精密光学技术研究组组长、国家光子标准专业委员会元件与材料分会副主任委员李刚研究员,浙江大学光电科学与工程学院光学工程研究所所长刘崇教授,英诺激光董事长赵晓杰博士等专家和项目团队核心成员出席了会议。与会人员高度认同高功率薄片超快激光器的发展前景和重大意义,并围绕项目目标就实施方案和下阶段实施计划开展了富有成效的讨论。

高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目顺应了超精密制造发展和制造业转型升级的内在需求,聚焦于千瓦级固体激光器、尤其是超快激光器的关键技术,目标是快速实现国内高功率薄片超快激光器的产业化。其中,在超精密加工领域,该激光器可实现高效加工,有效减少飞屑毛刺、提升生产效率;在半导体领域大能量、高重频超快激光是支撑EUV光源预脉冲的核心技术;在前沿科学领域,薄片激光技术是实现高平均功率阿秒驱动脉冲的有效手段,为阿秒技术走向商用提供了有效路径;在新型显示等其他高端加工场景,高功率、大脉冲能量的紫外、深紫外薄片激光器将以更好的稳定性和更优的成本替代目前尚需进口的准分子激光器,可见薄片激光器在诸多的高端和尖端领域有着广阔的应用前景,将支撑这些领域的发展。

国际上,德国通快公司掌握了该激光技术并推出系列化产品。而国内的该激光器的产业化尚处于空白,与前述公司的差距集中在薄片激光器增益模块的设计、制造和封装工艺、多冲程泵浦模块等关键技术。英诺激光作为国内固体和超快激光器龙头企业,基于自身深厚的技术和产业化积淀,通过多年来与国内领先科研机构的合作研究,突破了多项关键技术,具备了推进产业化的扎实基础。

作为“科技重大专项项目”之一,深圳市科技创新局已于日前批准该项目立项,以资助公司使该项目圆满达成预期目标。

近日,大连化物所化学激光研究室李刚研究员、金玉奇研究员团队在薄片超快激光器领域取得了重要突破。他们成功利用自主研发的72通薄片泵浦模块,实现了薄片皮秒激光再生放大输出功率超过300W的壮举。这一成就不仅展示了我国在激光技术领域的实力,更打破了国外公司对多通泵浦薄片模块技术的长期垄断,为我国高功率超短脉冲激光的发展注入了新的动力。

相关研究成果已以“国产Yb:YAG 薄片再生放大器输出功率突破300W”为题,在《zg激光》杂志上发表。该工作的第一作者是大连化物所704组的博士研究生雷希音,他的出色表现彰显了我国在激光技术领域的蓬勃人才储备。此次研究工作也得到了深圳市创新创业计划科技重大专项、大连化物所创新基金等项目的有力支持

然后就是 上个月经过将近一年的努力,zg科学院大连化学物理研究所,已经成功申请专利《一种基于Yb的脉冲宽度可调的高功率脉冲薄片激光器》,这是我国极紫外光刻机唯一专利!!为我国极紫外光刻机的研制做出了最关键的突破!而且这种高端的YB 薄片激光器就是极紫外光刻机的光源核心设备:

作为预脉冲核心技术大能量、高重频的千瓦级薄片超快激光是支撑极紫外光刻机(EUV)光源预脉冲的核心技术EUV光刻机需要高能量的激光脉冲来产生极紫外光,千瓦级薄片激光器可提供满足要求的脉冲,推动EUV光源功率线性增长,有助于提高EUV光刻机的性能和效率。

助力光源能量提升极紫外光刻机依靠高能激光脉冲来蒸发微小的锡滴以形成13.5nm的EUV光线,这需要大功率的激光器。千瓦级薄片激光器具有大能量、窄脉宽、高重复频率等优势,能为EUV光源提供足够能量,保障光刻机的正常运行和生产能力。

下面是英诺激光部分调研信息:

英诺激光公司是全球少数同时具有纳秒、亚纳秒、皮秒、飞秒级激光器核心技术和生产能力的生产厂商之一,是全球少数实现工业深紫外激光器批量供应的生产商之一。公司的紫外纳秒激光器持续保持国内领先地位,应用于芯片制造关制程的激光器获得全球知名半导体装备公司的认可,FORMULA 系列高功率紫外纳秒激光器技术、AOPICO 系列高功率紫外皮秒激光器技术、AONANO-XP 系列 MOPA-ns 激光器技术经中科合创(北京)科技成果评价中心评定为国际先进水平,并获得了工业和信息化部科学技术成果登记证书。

同时,公司持续通过技术创新夯实激光器领先优势。一方面,公司持续着力于将已量产系列的激光器产品进行提质降本;另一方面,公司着力围绕短脉冲或连续脉冲、短波长、高功率的方向新立项或推出一批新型激光器产品,为满足尖端应用场景的需求做相关储备。其中,公司牵头的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目正在有序开展,致力于实现具有完全自主知识产权的工业级激光器从百瓦级向数千瓦级的重大技术跨越将于 2025 年内完成第一阶段的开发目标500w 固体激光器项目已完成技术和实验室样机的研发工作,将为工业微加工领域提供更加高效的手段;连续 266nm激光器项目已完成研发,基于创新性的高效率连续光倍频方式,解决了传统共振增强腔方式的高成本和苛刻使用条件等问题,该产品可用于半导体的关键制程。上述项目有望使公司进一步拉大相对于国内同行的领跑距离,提升公司激光器产品的全球竞争力。

通过英诺激光的调研和zg科学院大连化学物理研究所的专利可以知道,我国极紫外光刻机在光源已经实现重大突破,但是市场还没有反应过来!困扰我国多年的光刻机先进制程即将打破垄断!

那么一旦我国这个高功率薄片超快激光器实现量产,那么能生产它的公司有且只有英诺激光一个公司能做,因为英诺激光是这个项目的牵头人,并且受到深圳科技创新局大力支持!深圳有H-W深圳也有新K来,最终目的不言而喻!

英诺激光:目前公司在半导体领域提供的主要产品为碳化硅退火制程的激光器,客户以国外知名半导体装备公司为主;亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的激光器,正在开发千瓦级薄片激光器

英诺激光:公司于年初发布了面向先进封装、包括算力芯片超精密激光钻孔设备。该设备搭载自主研发的激光器、采用定制的光学系统和运控系统,可满足应用于FC-BGA封装的ABF载板超精密钻孔需求

下面是英诺激光的PCB板材激光切割和激光钻孔设备,龙头大族激光已经暴涨50%。

英诺激光(301021):作为国内固体和超快激光器龙头,其高功率薄片超快激光器技术是 EUV 光源预脉冲的核心支撑,公司已批量供应碳化硅退火制程激光器,并与华为新凯莱合作开发 EUV 光刻机量检测设备。2025 年,其深紫外激光器在半导体领域的应用收入同比增长 120%,成为国产 EUV 光源预脉冲技术的核心供应商。

综上所述,英诺激光的预期差并未被市场挖掘到,去年立项研发的项目今年已经开始超预期结出硕果!中国未来极紫外光刻机的核心光源必然是英诺激光造!趁着低位喜欢做科技题材逻辑的老师们可以慢慢入手了!英诺激光市值52亿,大股东持股接近60%,实际流通盘20亿左右,无论是作为最新逻辑的光刻机题材,还是作为大族激光的补涨,后续预期都很足!老师们可以逢低关注!