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$钢研纳克(SZ300797)$ $晶瑞电材(SZ300655)$ $彤程新材(SH603650)$ 🧧最新事件驱动【:光刻胶领域 我国取得新突破】财联社10月25日电,近日,北京大学化学与分子工程学院彭海琳教授团队及合作者通过冷冻电子断层扫描技术,首次在原位状态下解析了光刻胶分子在液相环境中的微观三维结构、界面分布与缠结行为,指导开发出可显著减少光刻缺陷的产业化方案。
🧧研究团队创造性地将原本主要用于生命科学研究的冷冻电子断层扫描(cryo-ET)技术,首次引入半导体制造领域。
🧧该研究的意义远超光刻领域本身。其所展现的冷冻电子断层扫描技术威力,对于芯片产业而言,将极大地推动包括光刻、蚀刻、清洗等在内的多个先进制造关键环节的缺陷控制和良率提升,为制造性能更强、更可靠的下一代芯片铺平道路。
🧧钢研纳克(300797)
🧧公司高分辨力场发射扫描电镜FE-2050X系列采用新型冷场发射阴极、冷场发射电子枪,提升分辨率和信噪比,是目前国内分辨能力最高、分析能力最强、平台扩展性最好的旗舰型扫描电镜产品,可广泛应用于材料表征、光刻胶缺陷分析、细胞生物学研究、半导体制程工艺分析、纳米器件制造等。
🧧子公司纳克微束的产品场发射扫描电镜可以用于光刻胶缺陷分析。
🧧中国钢研旗下纳克微束作为多模态跨尺度生物医学成像设施(UT3D)的唯一提供商,参与了北京大学主导的多模态跨尺度生物医学成像设施项目。该项目在怀柔科学城竣工,旨在提升生命科学基础研究与临床医学水平,未来将推动高端生物医学影像装备的国产化。
🧧合作细节:纳克微束提供高通量电子显微断层成像系统,与北京大学医学成像中心程和平院士团队深度协同,推动生物医学研究范式变革。