$中旗新材(SZ001212)$
【中旗新材KrF光刻机】
前道/三代半导用KrF（248nm）扫描光刻机，处于“工程验收和客户验证阶段”。
25年3季度小批量生产（首批3～5台），同步推进第二家3代半导客户B验证线。