CMP是晶圆制造中实现全局平坦化的 关键且不可替代 的工艺,直接决定芯片的良率和性能。
存储芯片从2D NAND转向3D NAND,CMP抛光步骤从约7次增加到约15次,近乎翻倍,材料消耗量直接增加。
全球CMP材料市场长期由 美国、日本企业主导(如陶氏、卡博特),特别是在高端领域。
潜在的替代空间广阔,国产化率目前仍较低。在供应链安全和国内存储产业发展的推动下,国产替代是明确的趋势和机遇。
国内主要厂商:
$鼎龙股份(SZ300054)$ 国内抛光垫龙头,已实现部分原材料自主,产品可用于TSV等先进封装工艺。
$安集科技(SH688019)$ 国内抛光液龙头,产品线覆盖铜、钨、硅衬底及用于TSV的抛光液等。
$安利股份(SZ300218)$ 隐藏低估玩家,实现CMP材料小批量量产,并完成客户交付,与长鑫存储同为安徽国资体系相关主体(同属合肥产投集团关联生态),契合安徽打造半导体产业链闭环的规划。