在中美科技博弈的背景下,半导体产业链的自主可控已成为国家战略核心。近期,**光刻机国产化与先进制程良率突破**两大主线迎来密集催化,产业格局正经历从“破冰”到“量产”的历史性转折。
光刻机作为半导体制造“卡脖子”环节,占据芯片制造成本的1/3和生产时间的1/2,但国产化率不足10%,市场长期被ASML、尼康、佳能三大巨头垄断。2022年中国光刻机进口额高达39.63亿美元,进口依赖度极高。
政策与资本的双重加码正在改写这一局面:
深圳、辽宁等地近期出台半导体设备专项扶持政策,聚焦光刻机零部件研发,推动检测、薄膜沉积、刻蚀等核心设备国产化,并支持首台套设备进入制造企业。
举国体制被明确列为技术攻关的核心路径,通过大基金、财税优惠和资本市场改革,全力突破光刻机、离子注入等薄弱环节。
产业进展方面,华为新凯来旗下上海宇量昇科技在EUV光刻机研发已进入关键阶段,其突破将重构国内半导体设备格局。
国产光刻机产业链正从零部件到系统集成多点突破,核心企业技术进展显著:
福晶科技:全球非线性光学晶体龙头(LBO/BBO市占率近80%),通过子公司福创光电研发衍射光学元件,曾向ASML供应光学元件。其技术是光刻光源的核心环节,且与华为合作开发光通信元件,毛利率长期超70%。
茂莱光学:光刻机物镜和照明系统核心供应商,24H1半导体收入占比达49%,客户包括上海微电子及量检测设备龙头KLA、中科飞测。其物镜占光刻机成本10-15%,国产替代空间达20-40亿元。
福光股份:具备90纳米以上光刻机物镜和照明系统全链能力,已向长光所供应中继镜并形成收入,技术路径对标长春光机所。
汇成真空:镀膜机技术是EUV光刻机的关键环节,其设备可为镜片镀多层膜以满足EUV全反射光路要求。公司深耕消费电子(苹果链占比23%),正向半导体PVD设备延伸。
波长光电、奥普光电:EUV供应链核心企业,分别提供高精度透镜和光栅编码器,支撑光刻机光学定位系统。
下表为主要光刻机产业链企业的业务布局及技术优势:
企业名称
核心业务
技术优势/进展
下游客户/应用
光学晶体、衍射光学元件
LBO/BBO全球市占率80%,衍射光学元件研发
ASML、华为、光刻光源
物镜、照明系统
半导体收入占比49%,物镜占光刻机成本10-15%
上海微电子、KLA、中科飞测
投影物镜、照明系统中继镜
90nm以上光刻机全链能力,中继镜量产
长光所
镀膜设备
EUV多层镀膜技术,半导体PVD设备研发
苹果供应链、光刻机镜片
高精度透镜
EUV光学镜头核心组件
上海宇量昇、光刻机光学系统
新莱应材:提供EUV设备必需的高纯不锈钢管路和真空腔体,解决“血管”级关键部件。
阿石创:国产PVD靶材龙头,受益于镀膜设备放量,弹性显著。
中芯国际作为国产先进制程标杆,其进展牵动产业链神经:
2025年Q2业绩说明会定于8月8日召开,市场重点关注28nm及以下先进制程良率爬升进度、资本开支指引及国产设备导入情况。
华虹半导体同步披露财报,两家晶圆巨头的产能扩张与技术迭代,将直接带动设备零部件订单放量。
下表为光刻机核心部件国产化进展与市场空间:
核心部件
国产化进展
主要国内企业
市场空间
光学镜头/物镜
90nm节点突破,EUV研发中
20-40亿元(物镜)
镀膜设备
EUV多层镀膜技术攻关
30-40亿美元(光刻设备零部件)
光源系统
衍射光学元件量产,ArF光源研发
6-7亿元(物镜利润)
精密结构件
高纯管路、真空腔体突破
50-80亿元(量检测零部件)
在“举国体制”框架下,政策与资本正形成合力:
地方专项政策:深圳重点支持设备零部件研发和首台套应用;辽宁从人才引进、投融资到土地政策提供全链条扶持。
国产替代空间:光刻、薄膜沉积等设备国产化率不足10%,阀门、密封圈等零部件几乎全部依赖进口,替代空间超百亿美元。
基于产业进展与估值匹配度,重点关注:
福晶科技(002222):光刻光源核心供应商,非线性晶体全球龙头,华为合作深化,当前估值未充分反映光刻机业务弹性。
汇成真空(301392):次新股+镀膜技术稀缺标的,股价低位,半导体PVD设备研发加速。
茂莱光学、福光股份:光刻机物镜系统主力,受益上海微电子等国产整机厂放量。
中芯国际(688981):8月8日业绩会或释放先进制程乐观信号,设备采购本土化率提升直接利好产业链。
下表为半导体设备国产化率及市场空间概览:
半导体设备环节
国产化率
市场空间(全球)
国内重点企业
光刻设备
<10%
75亿美元(国内)
上海微电子、茂莱光学
薄膜沉积设备
<10%
300亿美元(国内设备市场)
量检测设备
<10%
100亿美元(全球)
离子注入设备
<5%
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2025年是中国半导体设备国产化的关键转折年。**光刻机产业链**在下半年有望实现EUV技术攻关与整机组装突破,**先进制程**则依托中芯国际等龙头良率爬升打通量产瓶颈。在政策举国体制与产业资本加持下,以福晶科技、汇成真空为代表的核心企业,正从“单点突破”迈向“系统输出”,重塑全球半导体竞争格局。
8月7-8日中芯国际与华虹半导体财报季,将是观测国产半导体进程的重要窗口——产业黎明前的技术星光,已隐约可见。