$盛剑科技(SH603324)$ 光刻机宇量昇两大股东上海科技创业投资（集团）有限公司和深圳市重大产业投资集团有限公司

上海科技创业投资唯一持有的A股主板上市公司是盛剑科技，3月25日，盛剑科技国产半导体制程附属设备及关键零部件项目（一期）投产仪式在上海嘉定工业区隆重举行。在半导体设备方面，盛剑科技自主研发的Local Scrubber用于处理含氟、氯等有毒废气，已应用于中芯国际14nm产线；其自主研发的干式真空泵，支持刻蚀、薄膜沉积等工艺，2024年通过长江存储验证；开发的高精度恒温系统，满足先进封装需求，获长电科技订单。此外，公司还为华为武汉研发生产项目-海思光工厂洁净室提供工艺废气治理系统。

在半导体材料方面，公司与日本长化成达成战略合作，引进FPD光刻胶剥离液技术，并实现国产化改进，该产品已通过中芯国际、华虹半导体验证，2024年批量供货，覆盖28nm及以上制程，同时公司合肥基地还布局了蚀刻液产线，形成“剥离-蚀刻”工艺闭环。

深圳市重大产业投资集团有限公司控股$深纺织A(SZ000045)$