芯片产业链背后，一滴“水”不为人知

超纯水：驱动现代高端产业增长的多维因素当外界将目光聚焦于光刻机如何在晶圆上刻画出纳米级电路时，芯片制造环节中一类“看不见的产品” 正悄然决定着最终良率——这就是超纯水（Ultra Pure Water，简称UPW）。作为一种特定科学技术与工艺下制造的特殊液体，超纯水有着严苛的技术标准：电阻率达到18.18—18.3MΩ·cm（25℃），溶解性杂质总含量低于十亿分之一级别的ppb（part per billion：一个无量纲量，在溶液中是用溶质质量占全部溶液质量的十亿分比来表示的浓度）的极致纯净水。超纯水承载着芯片上的晶体管、医药中的活性成分以及实验室中的科学奥秘，支撑着平板显示（如TFT-LCD、OLED、Micro-LED）等现代高端产业。更关键的是，超纯水与芯片制程的先进程度深度绑定——当芯片制程从 28nm 向14nm、7nm、5nm乃至3nm微缩时，超纯水的洁净度要求呈指数级升级