南大光电(300346)
国内唯一实现28nm ArF光刻胶量产的企业,承担国家“02专项”研发项目,技术指标达国际先进水平,产品稳定供应中芯国际、长江存储等头部晶圆厂。
ArF先进制程标杆,良率99.7%;主攻ArF干式+浸没式。
彤程新材(603650)
国内半导体光刻胶龙头企业,子公司北京科华在KrF光刻胶市占率超40%,ArF光刻胶通过中芯国际验证并量产,覆盖台积电等国际客户。
鼎龙股份(300054)
布局近30款高端晶圆光刻胶,超15款产品进入客户验证阶段,主攻存储芯片领域,部分产品实现小批量供货,国产替代潜力较大。
全链条自主可控先锋。国内唯一同时具备高端晶圆光刻胶核心原材料(功能单体、主体树脂、含氟树脂、PAG等)独立开发能力与全流程自主可控的企业;聚焦KrF/ArF,布局近30款产品,原料自主化率90%+。
虽然入局较晚,但聚焦更高端的ArFi浸没式光刻胶,仅用两年就开发出20余款产品