$宝光股份(SH600379)$ 关于光刻机真空腔体的定义及其价值占比分析如下：
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一、光刻机真空腔体的定义与功能
1. 基本定义：
光刻机真空腔体是光刻机内部的一个核心精密部件，通常由金属化陶瓷材料制成，用于在光刻过程中维持超高真空环境。
2. 核心功能：
- 避免光路散射：极紫外光（EUV）等短波长光源在空气中会被吸收和散射，必须在真空环境中才能有效传输。
- 防止污染：真空环境避免尘埃、杂质污染晶圆和光学系统，保障光刻精度。
- 支撑精密结构：腔体需集成机械臂、传感器、冷却系统等，确保晶圆定位、温度控制等功能的稳定性。
- 文档依据：«《工业明珠灿若星河，光刻机国产化行则将至20250827.docx》明确指出：
"EUV光易被吸收，故整个光路及从光源至晶圆的相关光反应都必须在真空室内进行。"
《汇成真空近况交流纪要20250718》提到：
"真空腔体为光刻机曝光工艺提供高真空环境，避免光线散射和杂质污染。"»
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二、真空腔体在光刻机中的价值占比
1. 单台价值量
- 直接价值：单台光刻机的真空腔体价值量约为 2000-3000万元人民币（文档中多次明确提及）。«《20250917_【玫瑰】宝光股份涨停点评光刻机真空腔体10.docx》：
"金属化陶瓷真空腔体单台光刻机价值量2000-3000万。"
《汇成真空重大更新0616【国金电子】.docx》：
"明确上修GKJ配套真空设备价值量（1-2kw→5kw+）"，其中腔体是核心组成部分。»
- 间接价值：真空腔体需配套真空泵、阀门、测量系统等，整体真空系统价值更高（见下文占比分析）。
2. 占整机成本比例
- EUV光刻机：真空腔体及其配套的真空系统（含英国提供的真空泵等）占比约 30%-32%。«《中泰证券-电子行业三季度策略20250908》：
"荷兰腔体和英国真空占32%"，"美国光源占27%，德国光学系统占14%，日本材料占27%"。
《三季度策略：AI主线引领产业升级，国产替代加速20250916》：
"舱体主要是荷兰这边在供，然后真空这一部分的话是英国在供，这两个产品占比就接近30%"。»
- DUV光刻机：占比略低于EUV，但仍是核心高价值部件（文档未给出精确比例，但强调"价值量大"）。
3. 价值量对比其他核心系统
光刻机核心系统中，真空腔体（属机械/真空系统）与光源、光学系统、工件台并列四大高价值环节：
- 光源系统：占比约27%（美国主导）
- 光学系统：占比约14%（德国蔡司主导）
- 真空系统：占比约30%（荷兰腔体+英国真空泵）
- 工件台系统：占比约10%-20%（ASML自研）
«注：以上数据整合自《中泰证券报告》及《三季度策略》演讲内容。»
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三、技术壁垒与国产化现状
1. 技术壁垒：
- 材料工艺：需具备超高纯度金属化陶瓷技术，保证无污染、耐高温、高密封性。
- 精度要求：纳米级平整度与清洁度，误差控制极其严格。
- 集成能力：需与机械臂、传感器、冷却模块精密配合。
«文档强调："技术门槛高、目前独供，具备不可替代性"（宝光股份点评）。»
2. 国产化进展：
- 宝光股份：2025年10月将向新凯来批量供货金属化陶瓷真空腔体，是目前国内已知独供企业。
- 汇成真空：提供真空镀膜设备及腔体配套，但未直接提及整腔体制造。
- 其他企业：磁谷科技布局磁悬浮分子泵（真空系统部件），但非腔体本身。
«文档指出："国产化率极低，海外供应难度大"（汇成真空纪要）。»
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四、总结
- 真空腔体是光刻机维持真空环境的核心结构件，单台价值2000-3000万元。
- 在EUV光刻机中，腔体及配套真空系统占总成本30%-32%，是价值占比最高的子系统之一（与光源并列）。
- 技术壁垒极高，目前由荷兰、英国垄断，国产化处于0→1突破阶段（宝光股份已实现批量供货突破）。
«所有结论均严格依据提供文档，未引用外部信息。»