一,硅片:作为存储芯片的基底材料,硅片纯度要求极高。
代表公司1,立昂微:12英寸硅片支持14nm及以上存储芯片,通过长江存储验证并小批量供货。
代表公司2,沪硅产业:国内最大12英寸硅片供应商,,产品覆盖存储头部厂商,支持3D NAND量产 。
二,光刻胶:通过光刻技术将电路图案转移到硅片上,高端产品(如ArF浸没式)依赖进口。
代表公司1,南大光电:ArF光刻胶通过存储芯片厂验证,支持28nm制程 。
代表公司2,雅克科技:通过收购韩国LG化学光刻胶业务获得LG化学彩色光刻胶业务,KrF光刻胶已通过中芯国际认证。
三,CMP材料:实现晶圆表面纳米级平整化,是3D NAND堆叠和HBM封装的关键工艺。
代表公司1,鼎龙股份:国内CMP抛光垫龙头,产品覆盖存储头部厂商,掌握全流程核心技术。
代表公司2,安集科技:全球CMP抛光液第三大供应商(市占率约5%),产品用于长江存储3D NAND产线,14nm以下制程技术突破。
代表公司3,华海清科:国内CMP设备龙头,产品用于存储芯片制造,但未直接涉及CMP材料生产,核心业务为抛光设备研发与销售。
四,封装材料:保护芯片并实现电气连接,HBM封装需使用颗粒状环氧塑封料。
代表公司1,飞凯材料:通过子公司长兴昆电供应环氧塑封料(EMC),产品支持台积电CoWoS封装工艺,适配HBM存储芯片。
代表公司2,华海诚科:国内环氧塑封料龙头,颗粒状环氧塑封料(GMC)通过HBM封装客户验证,收购衡所华威后产能全球第二,直接受益于先进封装材料需求扩张。
五,电子特气:纯度要求6N级以上,用于刻蚀、沉积等工艺,国产化率目前较低。
代表公司1,华特气体:国内通过ASML与GIGAPHOTON光刻气认证的企业,产品覆盖长江存储、SK海力士等存储芯片厂,超20个产品供应14nm及以下先进制程,5nm工艺实现突破 。
代表公司2,凯美特气:光刻气(Kr/Ne混合气)通过ASML子公司Cymer认证,直接供应中芯国际、长江存储等存储芯片产线,纯度达7N级,国产替代率快速提升。
代表公司3,金宏气体:超纯氨(7N级)批量供应长江存储,高纯氧化亚氮通过SK海力士认证,正硅酸乙酯等新品进入长鑫存储供应链,现场制气服务绑定头部存储厂商。
六,靶材:薄膜沉积材料,通过物理气相沉积(PVD)形成金属互连层,主要材料为铜、铝、钛等。
代表公司1,江丰电子:全球超高纯铝/钛/钽靶材龙头,产品覆盖长江存储、SK海力士等存储芯片厂,存储领域市占率大约10-15%,5nm制程用钽靶实现量产,3nm钛靶通过台积电认证。
代表公司2,有研新材:国内量产12英寸钴靶、钛靶的企业,铜靶通过台积电5nm认证,直接供应长江存储,存储芯片领域市占率快速提升。
代表公司3,隆华科技:子公司四丰电子是国内量产大尺寸钼靶的企业,产品用于存储芯片金属互连层,钨靶进入长江存储供应链。
七,光掩膜:号称光刻“图形母板”,成本占光刻耗材的约25%-30%,先进制程掩膜版多由晶圆厂自产。
代表公司1,菲利华:国内覆盖G4.5-G10.5代TFT-LCD光掩膜基板全尺寸生产的企业,子公司合肥光微完成掩膜版精加工环节布局。