一,硅片:作为存储芯片的基底材料,硅片纯度要求极高。
代表公司1,立昂微:12英寸硅片支持14nm及以上存储芯片,通过长江存储验证并小批量供货。
代表公司2,沪硅产业:国内最大12英寸硅片供应商,,产品覆盖存储头部厂商,支持3D NAND量产 。
二,光刻胶:通过光刻技术将电路图案转移到硅片上,高端产品(如ArF浸没式)依赖进口。
代表公司1,南大光电:ArF光刻胶通过存储芯片厂验证,支持28nm制程 。
代表公司2,雅克科技:通过收购韩国LG化学光刻胶业务获得LG化学彩色光刻胶业务,KrF光刻胶已通过中芯国际认证。
三,CMP材料:实现晶圆表面纳米级平整化,是3D NAND堆叠和HBM封装的关键工艺。
代表公司1,鼎龙股份:国内CMP抛光垫龙头,产品覆盖存储头部厂商,掌握全流程核心技术。
代表公司2,安集科技:全球CMP抛光液第三大供应商(市占率约5%),产品用于长江存储3D NAND产线,14nm以