$英诺激光(SZ301021)$ 这家公司的业务极富想象力，但没有公开权威的信息能够佐证公司正在牵头研发的超快激光器与EUV 光源激光器直接相关。

目前其产品与半导体领域相关的主要有前道量测设备的激光器，ABF载板、玻璃基等钻孔所用激光器，碳化硅退火设备等，同时新凯来的核心供应商有提到英诺激光。

目前全球掌握超快激光器技术的就是Trumpf，而Trumpf 是作为EUV 光源所用激光器的唯一供应商。

英诺激光去年牵头开始研发薄片式超快激光器，项目有中科院参与，这个项目的地位无疑极为重要，但没有查到权威的信息获取来源来证明其技术与EUV 相关，这方面信息感觉处于管制状态。

我记得EUV 光源所用的是CO2激光器，这个薄片超快激光器是前道工序吗？

截图的内容是一个非权威来源。