$英诺激光(SZ301021)$ 在GKJ光源领域，科益虹源承担了02专项里的准分子激光项目，负责DUV 光源。

上海光机所，今年4月发布了LPP-EUV 方案，采用固态激光器来实现的。

而ASML EUV 光源，由Cymer 供应，Cymer 采用的是Trumpf 的 30KW CO2 激光器。

这是两种不同的技术路线。

英诺激光去年启动的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目，今年将完成第1阶段目标，跟上海光机所的进度比较匹配。

激光器的功率提升难度很大。Trumpf激光放大器的核心组件——高功率种子模块 (HPSM)，系统内的线缆长度高达7,322米，重量更是达到了17,090千克，价值量上亿。

固体激光器领域目前国内还是英诺领先，好像也只有这么1家，如果国内EUV 采用固态激光器路线，将深度受益。

新凯来在手订单超120亿，在前道量测领域投入很大，其激光器用的就是英诺。

今年5-6亿营收，毛利率45%，10倍PS，其实还是比不少炒作的AI 硬件标的要强。炒作梦想的话，这个梦想更大。