这次小作文的绯闻主角是 V型槽阵列(V groove array )。绯闻是台积电COUPLE 方案中的HiMAX 的WLO 适合做单个 元件 ,不适合做 组件,如微透镜阵列和 V型槽阵列 array ,这种技术导致HIMAX给COUPLE提供的耦合 解决方案的良率大大降低,成本反而相应的大幅提升。
如下图所示:V 型槽链接CPO中微透镜阵列和光纤阵列(FAU),功能是实现在机械定位上与光纤阵列的高精度对准,这种组件尤其适用于高稳定性和低损耗光连接的场景(如CPO、光模块、光纤通信、传感系统等)。
V型槽阵列的制造工艺是光刻-离子刻蚀法(RIE),同时炬光还讲 全球独步的晶圆级同步结构化技术与RIE 进行协同(该资料来自炬光董秘的投资者交流)。HIMAX所掌握的微纳光学制造工艺中,主要是纳米压印技术,,这种技术主要精度低于RIE,但优势在于比RIE成本底。所以从 技术层面,HIMAX 的产品