光刻机
国产ArFi浸没式DUV，宇量昇！
$茂莱光学(SH688502)$
宇量昇物镜系统主力供应商，300mm大口径光学镜头通过中芯验证。DUV浸没式光学核心，单机价值量高，直接绑定整机量产。
$汇成真空(SZ301392)$
供应DUV镜头/掩膜版真空镀膜设备，膜厚精度<0.1nm，支撑宇量昇光学元件制造。
$聚和材料(SH688503)$
宇量昇ArFi核心上游
收购韩国SKE（LuminaMask），国内唯一量产ArF/KrF空白掩膜。覆盖7-130nm，适配DUV浸没式。已获SK海力士、中芯验证，直接配套国产光刻整机。
波长光电
宇量昇提供DUV非物镜镜片（反射/聚焦镜），覆盖三大国产光刻厂商。
新莱应材
供应超高洁净管路、真空阀门，服务宇量昇母公司新凯来。