日本关东电化工业群马涩川工厂大火，三氟化氮（NF₃）供应缺口持续扩大

🔥 这次日本关东电化工业群马涩川工厂的大火，直接冲击的核心产品是——三氟化氮（NF₃） 。
📌 三氟化氮的作用
• 半导体制造关键气体：用于光刻、蚀刻后清洗反应腔，去除残留物，不留颗粒或污染。
• 应用领域：• 半导体晶圆生产（约占全球消费量 50%）
• 平板显示（LCD、OLED）
• 薄膜太阳能电池
• 高纯度要求：先进制程（如 14nm 以下）对纯度要求可达 5N（99.999%）甚至 6N。
🌏 供应链影响
• 关东电化：日本 NF₃ 市占率约 90%，全球约 8% 。
• 主要客户：台积电、三星、美光、铠侠、索尼、Rapidus 等 。
• 事故导致两条产线之一停产，修复可能需数月，日本政府已考虑扩大从韩国进口 。
• 叠加三井化学将在 2026 年退出 NF₃ 业务，全球高纯 NF₃ 供应缺口或持续扩大 。
🔍 潜在连锁反应
• NF₃ 供应减少 → 半导体设备清洗效率受影响 → 可能拖慢晶圆厂产能。
• NF₃ 也是生产六氟化钨（WF₆）的重要前驱物，WF₆ 同样是半导体关键气体 。
• 高纯电子特气价格可能上涨，国产替代厂商（如中船特气、昊华科技等）迎来出口机会 。

中船特气 NF₃产能是另外一家昊华科技的数倍，且已在全球 NF₃ 市场占比约 24%，仅次于 SK Materials。
两者均可达 5N 级，但中船特气在杂质控制（尤其 CF₄、O₂、H₂O 等）上处于全球领先。

昊华科技 NF₃ 处于快速扩产期，若 4,600 吨项目按期投产，将跻身全球前列。$昊华科技(SH600378)$ $中船特气(SH688146)$