中广核技官网显示有电子束光刻胶固化业务 华为海思正在采购全国首台国产商业化电子束光刻机

全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”这台由研究院依托省重点实验室自主研发的新一代 100kV 电子束光刻机 “羲之”，已正式推向市场。

此前，这类设备受到国际出口管制，国内顶尖科研机构和企业长期无法采购。“羲之” 的落地，打破了这一困局，并且其定价低于国际均价，目前已与华为海思等企业及多家科研机构展开接洽。

EUV光刻机产能不足，很大一部分原因是由于光学镜头的供货不足。蔡司公司是EUV光刻镜头的唯一供应商，且短时间内难以有新的企业在EUV光刻镜头领域打破蔡司的垄断，而仅凭蔡司公司一家企业，难以满足如今庞大的市场需求。由于电子束光刻采用电子源发出电子束而并非光源，因此电子束光刻技术可以有效摆脱光刻机对光学镜头的依赖，这也成为了电子束备受关注的最主要原因之一。

此外，业内专家莫大康向《中国电子报》记者介绍，电子束具有波长