中广核技官网显示有电子束光刻胶固化业务 华为海思正在采购全国首台国产商业化电子束光刻机

全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”这台由研究院依托省重点实验室自主研发的新一代 100kV 电子束光刻机 “羲之”，已正式推向市场。

此前，这类设备受到国际出口管制，国内顶尖科研机构和企业长期无法采购。“羲之” 的落地，打破了这一困局，并且其定价低于国际均价，目前已与华为海思等企业及多家科研机构展开接洽。

EUV光刻机产能不足，很大一部分原因是由于光学镜头的供货不足。蔡司公司是EUV光刻镜头的唯一供应商，且短时间内难以有新的企业在EUV光刻镜头领域打破蔡司的垄断，而仅凭蔡司公司一家企业，难以满足如今庞大的市场需求。由于电子束光刻采用电子源发出电子束而并非光源，因此电子束光刻技术可以有效摆脱光刻机对光学镜头的依赖，这也成为了电子束备受关注的最主要原因之一。

此外，业内专家莫大康向《中国电子报》记者介绍，电子束具有波长短的优势，波长越短，越可以雕刻出更精细的电路，芯片工艺的纳米数也可以做到更小。据了解，EUV光刻机的波长为13.5nm，而100KeV电子束的波长只有0.004nm，波长短使其在分辨率方面与EUV相比有绝对的优势，也使得电子束能够实现EUV光刻都实现不了的先进制程技术。

中广核技子公司中广核达胜加速器技术有限公司官网显示拥有电子束固化光刻胶业务，说明中广核技的业务也能在光刻领域发展，电子束光刻基本原理是一种利用聚焦的电子束在涂有电子敏感材料（如PMMA光刻胶、HSQ光刻胶）的基板上进行高精度图案加工的技术。其基本原理是利用偏转线圈控制电子束的偏转，从而进行扫描曝光，光刻胶在受到电子辐照之后化学性质发生改变

电子束光刻机必须依赖电子加速器（或加速模块）来生成高能电子束，中广核达胜加速器技术有限公司是中广核核技术发展股份有限公司(中广核技,股票代码000881)的全资子公司,成立于2007年5月,专业从事电子加速器生产销售、辐照加工、高新材料、电子束辐射应用等业务的综合性核技术应用业务。公司目前拥有4 个电子加速器生产基地，是国内最大的电子加速器研发制造企业之一，同时也是国内电子加速器细分领域内唯一一家制造业单项冠军企业，目前加速器出口海外已占到国内出口海外市场份额的70%以上,并率先将工业加速器打入欧美发达国家市场。

久日新材是生产电子束光刻机光刻胶，而中广核技有电子束光刻胶固化业务