上海六迦光刻胶厂作为迦南科技子公司,已完成国家重点实验室光刻胶生产线的建设,并于2025年9月8日启动整线联调,其12英寸晶圆光刻胶缺陷控制技术达到全球领先水平。
上海六迦光刻胶厂生产线建设进展
项目定位:承接国家某重点实验室项目,主攻12英寸晶圆用高端光刻胶研发生产。
最新进展:生产线于2025年9月8日完成建设并进入联调阶段,采用冷冻电子断层扫描技术对分子结构进行三维成像分析。
技术突破:通过抑制分子缠结和界面捕获优化方案,将缺陷密度从每平方厘米数百个降至个位数,技术成果已发表于《自然·通讯》。$迦南科技(SZ300412)$ $光刻胶(BK0688)$ $国科军工(SH688543)$