$冠石科技(SH605588)$ 电子束光刻机的重要方向就是制造掩膜版用的。。石乐志的人，还拿电子束光刻机不需要掩膜版说事，电子束光刻机的速度和效率跟极紫光刻机不是一个量级，好好研究一下再来说事。。。你以为今天为啥能秒板？那是设备能国产替代了，冠石的设备不需要看小日子脸色了。。加上很快40纳米也有消息了。