$中微公司(SH688012)$ 营收跟之前预告一样，没透露订单情况。
亮点研发费用占比30%，而且对先进逻辑上的薄膜沉积设备的突破决心增强。
新增一类研发，中微从集成系统化的方式介入薄膜沉积设备领域——PVD/CVD/ALD种子层集成系统，对标Applied Materials（AMAT）的Endura®平台是其在金属&阻挡层PVD领域的旗舰平台，可在单一平台集成前道清洗、PVD、ALD、CVD等工艺。