半导体温控 + 半导体真空泵国产替代 盛剑科技
半导体产业是目前国内“卡脖子”的战略关键领域，我国政府颁布了一系列政策法规，将半 导体产业确定为战略性新兴产业之一，大力支持半导体行业的发展；
目前，半导体真空泵的国产化率在逐步提升。2023年，半导体零部件整体国产化率提升至18%，其中真空泵的国产化率超10%。2022年，中国大陆半导体真空泵市场规模为76亿元，国产化率约6%。不过，国产半导体真空泵在部分细分领域取得了显著进展，其新型干式真空泵在半导体制造中实现能耗降低20%，抽气效率提升。
公司深耕半导体工艺废气治理领域多年，持续服务于集成电路、半导体显示及新能源行业的 领军企业，积累了领先的设计能力、专业的管理团队及丰富的实战经验，奠定了公司在国内半导 体产业工艺废气治理领域的领先地位。
半导体附属装备及核心零部件作为公司的核心战略业务之一，公司围绕该领域逐步完成了工艺废气处理设备、真空设备和温控设备的国产化研制。上述设备共同作用于对半导体制程设备反 应腔的辅助控制，可使反应腔满足刻蚀、离子注入、扩散及薄膜沉积等工艺所需的环境条件，是 半导体附属装备及核心零部件中不可或缺的重要组成部分。
为完善先进半导体附属设备及关键零部件平台搭建，充分发挥产品应用、客户资源、技术、 生产等方面的协同效应，公司加快推进真空设备、温控设备研发与市场化转化，不断丰富、延伸 产品链。报告期内，公司多级罗茨真空泵机组取得 SEMI 认证，正在开展客户验证；并从产品重 量、尺寸、结构等方面切入，对现有机型进行优化改进，积极推进第二代产品研发；多级爪式真空泵机组取得 SEMI 认证，已与客户开展技术交流。温控设备方面，公司完成热交换型、半导体 显示压缩制冷型等多款设备研发及内部测试，取得 SEMI 认证，正在与客户开展技术交流；利用 双变频技术，实现对半导体工艺设备生产环境温度精准控制，积极响应 ESG 要求，在绿色节能、 设备小型化等方面持续设计优化。
推动或完成数款半导体显示剥离液、蚀刻液、清洗液产品的开发和专利布局， 推进相关产品在客户端测试验证，取得多家半导体显示头部客户批量订单；与长濑化成株式会社 就半导体先进封装 RDL 光刻胶剥离液达成进一步合作，启动目标客户的技术沟通交流及生产规划； 合肥“电子专用材料研发制造及相关资源化项目”目前已进入试生产阶段，加速上海、合肥电子 化学品材料两翼联动格局构建，为该板块业务发展提供充足产能、产业集群等支持；同时，该项 目已取得危废经营许可证，为周边客户提供端到端的新材料+循环再生一体化解决方案奠定更坚 实基础，进一步夯实核心竞争力。
对标京仪装备688652 营收10.26亿 市值94亿 $京仪装备(SH688652)$
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