整理了各类光刻胶的关键信息(按技术先进程度从高到低排序),便于理解和记忆
EUV (极紫外) 光刻胶,配套7nm及以下 (如5nm, 3nm) 先进制程,当前用于制造最尖端的逻辑和存储芯片。
ArF (干式)光刻胶,配套深紫外 (DUV)光刻机,是进入纳米级工艺的重要技术。
ArFi (浸没式) 光刻胶,(使用多重曝光) ArF的增强版,通过浸没技术等效缩短波长,是实现7nm工艺(不使用EUV时)的关键。
KrF光刻胶,配套深紫外 (DUV)光刻机,广泛应用于存储芯片等对成本敏感的中高端制程。
i线光刻胶,用于成熟制程,如电源管理、显示驱动等芯片。
g线光刻胶,用于对线宽要求不高的器件和早期集成电路。
$南大光电(SZ300346)$ $彤程新材(SH603650)$ $上海新阳(SZ300236)$