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火碱
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整理了各类光刻胶的关键信息(按技术先进程度从高到低排序),便于理解和记忆
EUV (极紫外) 光刻胶,配套7nm及以下 (如5nm, 3nm) 先进制程,当前用于制造最尖端的逻辑和存储芯片。
ArF (干式)光刻胶,配套深紫外 (DUV)光刻机,是进入纳米级工艺的重要技术。
ArFi (浸没式) 光刻胶,(使用多重曝光) ArF的增强版,通过浸没技术等效缩短波长,是实现7nm工艺(不使用EUV时)的关键。
KrF光刻胶,配套深紫外 (DUV)光刻机,广泛应用于存储芯片等对成本敏感的中高端制程。
i线光刻胶,用于成熟制程,如电源管理、显示驱动等芯片。
g线光刻胶,用于对线宽要求不高的器件和早期集成电路
$南大光电(SZ300346)$ $彤程新材(SH603650)$ $上海新阳(SZ300236)$

国产替代之光刻胶@火碱 :  国产替代之光刻胶  先简单说说2019年的日韩贸易战。
日本拿捏韩国的杀手锏是三种关键半导体材料:光刻胶,氟化氢,氟化聚酰亚胺。韩国三星、SK海力士受到严重冲击。光刻胶保质期很短,所以无法囤货。
被“卡脖子”后,韩国开启了国家主导的半导体材料国产化计划。光刻胶从日本的进口依赖度从2018年的93.2%降...