90%市场被日本垄断！中国半导体设备的“生死突围战
1. 涂胶/显影机 (Coater/Developer)
· 日本垄断者与份额：东京电子 (TEL)，全球市场份额 >90%（绝对垄断）。
· 国产替代现状：从无到有，重大突破。
· 代表企业：芯源微 (Skyverse)。
· 进展：芯源微的产品已在国内多家主流晶圆厂用于KrF、I-line等制程，实现了零的突破。但目前仅覆盖少量机型，面对TEL近90%的垄断格局，替代之路刚刚开始。
2. 清洗机 (Cleaning Equipment)
· 日本垄断者与份额：SCREEN控股，全球份额 ~55%，加上 东京电子 (TEL)，日系份额超70%。
· 国产替代现状：进展最快，已实现部分替代。
· 代表企业：盛美上海 (ACM Research)、至纯科技 (Hzpure)。
· 进展：盛美上海的先进清洗设备已进入国际一流芯片制造产线，至纯科技也已覆盖28nm及以上工艺。它们正从SCREEN和TEL手中夺下部分市场份额，是国内替代的标杆领域。
3. 热处理设备 (氧化/扩散/退火炉)
· 日本垄断者与份额：KOKUSAI ELECTRIC（原日立国际），全球份额 ~40%，与 东京电子 (TEL) 共同主导市场。
· 国产替代现状：成熟制程已替代，先进制程在攻坚。
· 代表企业：北方华创 (NAURA)。
· 进展：北方华创的设备在国内成熟制程产线上已成为主力，实现了较高的国产化率。但在先进制程方面，仍面临与KOKUSAI和TEL的激烈竞争。
4. 检测/量测设备 (Inspection & Metrology)
· 日本垄断者与份额：
· Lasertec：在EUV光罩检测设备领域份额 ~100%（完全垄断）。
· Advantest：在半导体测试设备市场与美国泰瑞达平分秋色，份额全球前二。
· 国产替代现状：差距最大，任重道远。
· 代表企业：上海精测、中科飞测。
· 进展：国内企业在中低端光学检测设备上开始突破，但面对Lasertec在顶级检测设备上100%的垄断地位，国产替代几乎从零开始，是未来最难的攻坚战。
5. 划片机 (Dicing Saw)
· 日本垄断者与份额：迪思科 (Disco)，全球市场份额 >70%（绝对领先）。
· 国产替代现状：初步突破，道阻且长。
· 代表企业：光力科技 (Global MT)。
· 进展：光力科技通过国际并购整合技术，产品已进入国内封装厂。但无论是在技术精度还是市场份额上，与巨头Disco的70%占比相比，仍有巨大差距。
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总结表：日本市场份额与国产替代进度
设备领域 日本垄断企业及份额 国产代表企业 替代现状
涂胶/显影机 东京电子 (TEL, >90%) 芯源微 重大突破，已用于KrF、I-line制程
清洗机 SCREEN (~55%) + TEL，日系份额>70% 盛美上海 进展最快，已进入先进制程产线
热处理炉 KOKUSAI (~40%) + TEL 北方华创 成熟制程已替代，先进制程研发中
检测/量测 Lasertec (EUV检测~100%)、Advantest 上海精测 差距巨大，中低端刚起步，高端近乎空白
划片机 迪思科 (Disco, >70%) 光力科技 初步突破，主要用于中低端封装
核心结论：
数据清晰地表明，日本企业在多个关键设备领域占据着 50% 甚至 90% 以上的绝对垄断份额。中国国产替代的实质，就是一个从这些巨头手中“虎口夺食”的艰难过程。