光刻胶与显影液:半导体制造的核心材料
在半导体制造这座精密而复杂的 “科技大厦” 中,光刻胶与显影液占据着举足轻重的核心地位,堪称是整个半导体产业的 “幕后英雄”。

光刻胶,又称光致抗蚀剂,是一种对光敏感的高分子材料,被誉为半导体产业的 “皇冠明珠”。光刻工艺作为半导体制造的核心步骤,其作用是将掩模版上的精细电路图案转移到硅片等衬底上,而光刻胶则是实现这一图案转移的关键媒介。光刻胶的工作原理基于其对特定波长光线的敏感性。当光刻胶受到光照时,会发生光化学反应,导致其溶解性发生变化。根据光照后溶解性的不同,光刻胶可分为正性光刻胶和负性光刻胶。正性光刻胶在曝光区域的溶解性增加,显影时被溶解去除,从而在衬底上留下与掩模版图案一致的光刻胶图形;负性光刻胶则相反,未曝光区域在显影时被溶解,留下曝光区域的图形。按照曝光波长的不同,光刻胶主要分为 g 线(436nm)、i 线(365nm)、KrF(248n