宇量昇DUV光刻机的供应商中较为关键的5家上市公司分别是:
• 奥普光电(002338):其母公司长春光机所是光刻机物镜技术源头,奥普光电是其唯一上市公司平台,为宇量昇提供光刻机曝光系统,高精度物镜已通过验证,单台价值量超500万元。
• 福晶科技(002222):全球非线性光学晶体龙头,其技术是光刻光源的核心环节,为宇量昇提供的产品应用于光刻机光源系统,在DUV光源模块领域实现非线性光学元件技术突破。
• 波长光电(301421):国内唯一覆盖宇量昇、新凯来、上海微电子三大光刻机厂商的光学元件供应商,为宇量昇提供深紫外(DUV)非物镜镜片,如照明系统、激光器光源镜片等,其全资子公司重庆渝莱昇还为宇量昇供应精密机械臂基座、真空腔体等核心零部件。
• 茂莱光学(688502):DUV光刻机镜头核心供应商,供应上海微电子投影物镜系统,单机价值超过5000万元,也为宇量昇提供相关光学产品,2025年新增订单同比翻倍,适配28纳米制程升级需求。
• 美利信科技(301309):旗下重庆渝莱昇精密制造有限公司为宇量昇提供半导体设备机械臂、工作台等精密零部件,配套宇量昇的刻蚀、离子注入、PVD/CVD等设备,2024年已实现近亿元营收贡献。