国产EUV光刻机的进度完全是和英诺激光“高功率薄片激光器”(极紫外激光器）的研发是完全同步的!因为目前对于国产euv光刻机，卡脖子的技术就剩下这个“高功率薄片极紫外激光器“了!$英诺激光(SZ301021)$ @何所在兮 $半导体设备ETF(SZ159516)$ $中芯国际(SH688981)$