国产替代弹性进攻方向：光刻机0-1赛道
ASML 2025年收入300-350亿欧元，中国大陆占25%、约600亿元；且该金额不含进口受限的EUV（ASML收入中EUV占比40%），因此长期若大陆产品能覆盖剩余40%，市场甚至有望达近千亿元级别。-- 上游方面，粗略减去一半毛利率，大陆上游零部件采购额粗估约300亿元，未来加上EUV甚至有望达500亿元级别，按10倍PS、有极为可观的总市值空间。其中，尤其是光学系统（乐观占比近四成）、光源（乐观占比近两成）、工件台（占比约两成），份额领先厂商空间巨大。
关注：茂莱光学$茂莱光学(SH688502)$ （供应价值量最大，i线稳定供应、单台可达300万，未来浸没式有望10+/20倍提升）
波长光电$波长光电(SZ301421)$ （客户和品类拓展，i线照明稳定放量）
富创精密 （光刻机核心部件：富创精密的工艺零部件（如真空腔体、工件台结构件）应用于光刻机投影系统、照明系统和工件台，支持28纳米至7纳米先进制程。）
福晶科技（差异化路线光源，弹性大）
国望光学 （光学供应商）
汇成真空 $汇成真空(SZ301392)$ （真空镀膜供应商，首台DUV镀膜设备上周交付CGS，预计第二台设备订单近期落地。）
华辰装备 （近期GKJ磨床交付CGS，后续批量加工订单有望落地）
凯美特气 （光刻机用准分子激光气体 纯度需达99.9999%（6N级），全球仅林德集团、凯美特气等少数企业能稳定量产。）