$华特气体(SH688268)$ $中芯国际(SH688981)$$华润微(SH688396)$ 电子特种气体作为芯片制造的第二大核心材料，被广泛应用于半导体芯片制造的各个工艺环节。技术的不断进步和市场需求的逐步释放将带动电子特种气体的需求增长。去年，华特气体针对集成电路、第三代半导体、光掩模、MEMS等细分市场，强化定制化服务能力，以“小批量、高价值”产品弥补传统领域需求缺口。在第三代功率器件半导体方面，产品满足碳化硅（SiC）与氮化镓（GaN）等第三代半导体的生产需求。华特气体产品也已进入到全国最大的氮化镓生产厂商和碳化硅生产厂商供应链。华特气体的下游客户覆盖中芯国际、长江存储、华虹宏力、华润微、SAMSUNG、SKHynix、TSMC等全球领先客户，特种气体品种数和收入居于国内气体公司前列；产品覆盖国内90%以上的8-12寸芯片制造企业；公司超55个产品可供半导体厂应用，并且公司的部分氟碳类产品、氢化物已进入到5nm的先进制程工艺中应用并不断扩大覆盖范围。