半导体制造设备之——高速高精固晶机

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英牛剑
 · 上海  

$智立方(SZ301312)$

高速高精固晶机是半导体封装环节的核心设备,主要负责将晶圆上的芯片拾取并精准粘贴到基板或框架的指定位置。它就像是芯片封装过程的“精密机械手”,其速度和精度直接关系到最终产品的性能和生产效率。
下面内容带你快速了解它的核心特点和技术门槛:
维度 、核心描述、核心使命

实现芯片与基板间高速、高精度的电气连接与机械固定
精度水平 定位精度可达±1.5μm甚至±1μm,远超普通设备
速度表现 通过直线电机等技术,加速度可达30G,固晶周期可低于3秒
技术构成 精密运动控制、高分辨率视觉定位、智能压力传感、专用工艺软件等多系统深度集成
🔍 设备制造难度剖析
高速高精固晶机的制造是典型的高精尖技术集成,难度非常高,主要体现在以下几个方面:
1. 精度与速度的平衡是核心挑战
如同“在高速奔驰的赛车穿针引线”,设备需要在毫秒级的时间内完成微米级的精准定位和贴装。传统电机往往难以兼顾,而高性能直线电机(如中研赢创的产品宣称能达到30G加速度和±1μm精度)和先进的抑振算法是实现突破的关键。
2. 多学科技术深度交叉融合
一台先进的固晶机是精密机械、自动控制、机器视觉、软件算法和材料科学等多学科技术的结晶。例如,其视觉系统需要具备高速飞拍、精准纠偏的能力,这要求深厚的跨领域知识积累和系统整合能力。
3. 工艺适配性与稳定性要求苛刻
下游应用多样(如光通信、Mini LED等),意味着设备需要应对共晶焊接、环氧粘贴等不同工艺,并能在超过350°C的工况下稳定运行。同时,还要能长时间保持精度,对机械结构、温控系统都是严峻考验。
4. 高端市场国产化率低
尽管在LED封装等中端领域国产化率已超90%,但在高端集成电路和先进封装市场,国产设备份额仍很低,核心技术追赶需要持续的高强度研发投入。
📈 相关的A股上市公司
在A股市场中,已有多家公司积极布局高速高精固晶机的研发与生产:
智立方 (301312) 在光通信CPO领域推出了高速高精固晶机,目前交付有序、销售稳步增长。

博众精工 (688097) 高速高精度固晶机在客户端测试进度比较顺利。其共晶贴片机可用于400G、800G、1.6T光模块的贴合场景。

快克智能 (603203) 公司自主研发的高速共晶DieBonder设备,已完成客户验证进入量产阶段。
此外,华峰测控长川科技等公司也深耕半导体测试设备领域,其技术积累与固晶机所需的部分底层技术相通,也值得你关注。

$博众精工(SH688097)$ $华峰测控(SH688200)$