普达特科技获得一台半导体高温硫酸清洗设备的样机订单

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普达特科技（00650）发布公告，公司已从一个客户处获得一台半导体高温硫酸清洗（高温SPM）设备（该设备）的样机订单。该设备目前已处于组装与测试阶段，前期已通过客户的多项工艺性能测试与马拉松测试，部分指标达到国际领先水平，显著推进了国产高温SPM清洗设备打破海外垄断的进程。该样机订单的收入暂未确认。据董事经作出一切合理查询后所深知、尽悉及确信，于本公告日期，该客户及其最终实益拥有人为独立于公司及其关连人士的第三方。

该设备采用高温SPM清洗工艺，可覆盖12英寸晶圆关键制程的PR-strip、Post CMP、NiPt remove等多种应用，是业界公认的高难度湿法工艺，市场目前由海外设备供应商垄断。公司研发的该设备，具备国内领先、国际一流的高温控制能力，可覆盖至190°C的高温SPM工艺，经马拉松验证，终端工艺腔体高温硫酸温控范围±

来源：新浪财经

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