昊华科技：目前正在研发光刻用电子混配气产品

同花顺（300033）金融研究中心09月22日讯，有投资者向昊华科技（600378）提问， 请问贵公司生产半导体材料可为芯片光刻制造环节中提供对应的清洗工艺吗？请问昊华科技三氟化氮可以应用于光刻工艺吗？贵公司有哪些光刻气产品呢？

公司回答表示，尊敬的投资者您好，感谢您对公司的关心和支持！ 公司所属昊华气体是国内特种气体行业内的技术领先企业，现拥有多品种系列化电子特种气体产品，应用于集成电路制造的蚀刻、清洗、离子注入、化学气象沉积等环节。目前正在研发光刻用电子混配气产品。公司将按照中国证监会、上海证券交易所对信息披露的要求披露公司相关信息，敬请关注公司公告或定期报告。

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来源：同花顺财经

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