近日,广东华特气体股份有限公司(以下简称“公司”)凭借卓越的产品性能及稳定的供应能力,被中国领先的半导体IDM企业——杭州士兰微(600460)电子股份有限公司(以下简称“士兰微”)旗下的士兰半导体制造事业总部正式授予“材料战略合作供应商”荣誉称号。此项授牌不仅标志着公司在高端半导体材料领域的研发实力与稳定供应能力获得产业链核心企业的高度认可,也是彰显在推动特种气体国产化进程中的关键作用。
公司始终专注于特种气体的技术突破与产业化应用。截至2025半年度,公司拥有259 项专利,主持或参与制定包括多项电子工业用气体国家标准在内的67项标准、6项行业标准、1项国际标准和11项团体标准,技术积累覆盖半导体制造14nm、7nm先进制程工艺需求,部分氟碳类产品、氢化物已进入到5nm的先进制程工艺并不断扩大覆盖范围。
同时,公司自主研发的高纯四氟化碳、六氟乙烷、光刻气等核心产品成功实现进口替代;自主研发的光刻混合气有Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne、Kr/F/Ne和Ar/Ne/Xe等,是国内唯一一家同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社双重认证的气体企业,技术壁垒与国际化认证能力稳居行业前列。
在客户覆盖度方面,目前公司已成功实现了对国内8寸及以上集成电路制造厂商超过90%的客户覆盖率,客户认同度持续提升。士兰微作为中国半导体产业的重要力量,此次荣获其旗下士兰半导体制造事业总部的合作授牌,既是对公司技术可靠性与供应链稳定性的权威背书,亦为双方深化晶圆制造材料协同创新奠定基础。
另外,公司还承担国家重大科技专项(02专项)中的《高纯三氟甲烷的研发与中试》课题等重点科研项目及广东省战略性新兴产业区域集聚发展试点(新一代显示技术)项目中的“平板显示器用特种气体”研发,连续四届入选“中国电子化工材料专业十强”,并斩获“全国气体标准化先进单位”、“IC创新奖”等奖项荣誉。此次授牌进一步印证了公司在高端供应链的突破能力,为产业链自主可控提供范本。
在全球半导体产业竞争加剧的背景下,公司未来将持续深耕技术研发,发挥产能协同效应,携手士兰半导体制造事业总部等产业链伙伴,共同构建安全、高效、创新的特种材料供应体系,助推中国半导体产业高质量发展。