先导基电：旗下离子注入机多款机型通过验证，产业化进展良好

投资者提问：

董秘您好。请问贵公司有发展离子注入设备的相关业务吗

董秘回答(先导基电SH600641)：

尊敬的投资者，您好！公司旗下凯世通离子注入机产品覆盖低能大束流离子注入机、超低温离子注入机、高能离子注入机等多款机型，目前已通过国内多家12英寸主流晶圆厂客户的验证验收。其中，应用于CIS 器件掺杂的低能大束流离子注入机实现首台设备验收，并稳步推进批量应用；高能离子注入机产业化进展良好，持续拓展新客户。感谢您的提问！

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