至纯科技：高温硫酸SPM设备是国产首台应用于大规模量产线的12英寸硫酸清洗机

同花顺（300033）金融研究中心12月09日讯，有投资者向至纯科技（603690）提问， 您好！公司哪些产品可以实现国产替代，或者说打破外国垄断，特别是日本的半导体设备？谢谢！

公司回答表示，您好，公司半导体湿法设备在先进制程节点，尤其在高温硫酸、FINETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台，公司交付和验证进度都在国内领先，其中高温硫酸和高温磷酸主要被日本厂商几乎垄断。高温硫酸SPM设备是国产首台应用于大规模量产线的12英寸硫酸清洗机，目前单机累计产量超过90万片次，是高阶湿法设备国产替代进口的重要里程碑。单片高温磷酸验证工作也在稳步推进中。

系统集成及支持设备方面，公司已成功完成了多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购。公司在高纯工艺系统领域已经形成从研发、设计、制造到完整供应链的较强竞争优势。2016-2024年中国大陆主流12寸晶圆厂41次特气中标结果中，公司市占率达48.8%，化学品设备及系统的市占率超过30%。

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来源：同花顺财经

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