中泰股份：已具备向市场提供大量优质的高纯/超纯气体的能力，可应用于光刻等制程

同花顺（300033）金融研究中心10月10日讯，有投资者向中泰股份（300435）提问， 你好！氖气（Ne）是DUV光刻机的“光源燃料”，请问公司具备量产的能力吗？是否已有供货？

公司回答表示，您好，公司具备制取氪氖氙氦等稀有气体以及高纯电子保护气的装置及核心设备业绩，精制氪气氙气气体运营项目已生产出合格的氪氙气体，已具备向市场提供大量优质的高纯/超纯气体的能力，可应用于光刻、刻蚀、沉积等制程，感谢您的关注！

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来源：同花顺财经

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