汇成真空:公司暂无锡滴过滤与真空蒸馏回收系统产品

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汇成真空(SZ301392)
   

同花顺(300033)金融研究中心08月26日讯,有投资者向汇成真空(301392)提问, 公司开发的锡滴过滤与真空蒸馏回收系统,此前称已集成于上海微电子LPP-EUV光源,可将锡利用率提升至95%。请问该系统目前在客户产线的实际运行中,锡纯度恢复是否稳定达到99.999%的EUV光源要求?是否已进入中芯国际等晶圆厂的EUV验证线测试?

公司回答表示,尊敬的投资者,您好。公司暂无该产品,感谢您的关注。

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来源:同花顺财经

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