1. 氟碳类（三氟化氮、六氟化钨等）
中船特气：国内最大、全球前列的三氟化氮、六氟化钨供应商。
昊华科技：旗下黎明院是国内六氟化钨主要供应商之一，同时具备三氟化氮产能。
2. 光刻/蚀刻气体（含氟混合气、溴化氢等）
华特气体：国内光刻气龙头，产品通过ASML认证，供应光刻气、刻蚀气等。
金宏气体：产品覆盖超纯氨、笑气等，在光伏领域份额较高。
3. 掺杂/沉积气体（磷烷、砷烷、硼烷等）
南大光电：磷烷、砷烷等电子特气龙头，同时是MO源主要生产商。
4. 金属氢化物（磷化铟等）
云南锗业：主要产品为磷化铟、砷化镓等衬底材料，位于特气产业链上游。
5. 电子大宗气体（高纯氮、氧、氢等）
广钢气体：国内领先的电子大宗气体供应商，产品包括高纯氮气、高纯氧气、高纯氢气等，广泛应用于半导体制造环节。
6. 工业气体龙头（特气+大宗气）
杭氧股份：国内工业气体龙头，零售气体（液氩等）业务对气体价格弹性大。
和远气体：布局电子特气产能，包含硅烷等。