如果将 “SOI”、“SiGe”、“异构集成(Heterogeneous Integration)” 和 “12寸(300mm)” 这四个硬核技术标签结合在一起,在半导体产业中,它极其精确地指向了一个当前爆发式的超级赛道——硅光子技术(Silicon Photonics,简称硅光) 以及 高端射频/毫米波通信(如6G/卫星通信)。
从技术原理上看:
SOI 是光信号传输的绝佳介质(硅和氧化硅的折射率差大,形成优异的光波导)。
SiGe 则是实现高速光电转换的关键(在SOI上外延生长硅锗,用于制造超高速的光电探测器和调制器)。
异构集成 则是将上述基于SOI/SiGe的光芯片(PIC),与先进工艺制造的电芯片(EIC,如DSP、CMOS控制逻辑),通过2.5D/3D先进封装(如CPO共封装光学)组合在一起。
在国内,能够真正在 12寸晶圆 级别上玩转这种高难度“SOI+SiGe异构工艺”的公司屈指可数。
其实在SOI+SiGe异构工艺布局的就$卓胜微(SZ300782)$ $中芯国际(SH688981)$ $华虹公司(SH688347)$