东方中科（002819）
✅ 核心硬逻辑：电子束偏转器（电子束光刻机的 “方向盘”，控制电子束扫描轨迹，直接决定光刻线宽精度）。官网明确产品应用，且偏转器技术长期被日美垄断，公司突破后 国产替代空间超 30 亿 / 年（全球电子束光刻机偏转器市场约 50 亿，国内占 60%）。
⚠️ 风险：半导体业务占比仅 12%，需跟踪订单落地（如 “羲之” 光刻机是否采购其偏转器）。
博众精工（688097）
✅ 核心硬逻辑：高稳定度直流高压电源（电子束枪的 “心脏”，电子加速需 10-100kV 高压，稳定性决定电子束能量均匀性）。公司募资投向高压电源产线，已供货国内半导体设备商， 单台光刻机需 2-3 套电源，按 “羲之” 年销 50 台测算，可贡献收入 1.2 亿 +（每套约 160 万）。
✅ 延伸价值：高压电源还可用于离子注入机、电子显微镜，属于半导体设备核心模块，国产替代空间超百亿