回复@平静的财富小船坞: 一代工艺、一代设备、一代器件，三者关系密不可分，在研发阶段都是互相配合开展的。
而耗材，拿湿电子化学品为例，传统用某酸去清洗，在成熟制程或者说14nm及以上节点，用单酸清洗液去做，影响不大。但是7-5-3或者更先进节点工艺，为了把沟道、FinFET的鱼鳍片高度和宽度刻蚀得更好，关键尺寸控制得更好，湿电子化学品可能需要用复合材料，选择性清洗。
那传统的耗材可能就打不进去更先进产业链。//@平静的财富小船坞:回复@贝影Alpha:请问为何设备确定性高于耗材？