查尔斯大风车
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这个MOCVD设备线宽要求不高，供应应该不是问题。 电子束一般用于MASK 的制作。光刻是主流设备。
@为自由而思考 :$东山精密(SZ002384)$ Source Photonics）光芯片（特别是EML芯片）制造能力、产能规划及供应链状况的详细专家访谈纪要。
核心信息解读如下：
1. 核心设备（MOCVD）现状与规划：
数量与分布：大陆工厂已安装7台（旧厂4台+新厂3台），另有1台已订购在途。台湾工厂估计有5-6台，主要用于...
核心信息解读如下：
1. 核心设备（MOCVD）现状与规划：
数量与分布：大陆工厂已安装7台（旧厂4台+新厂3台），另有1台已订购在途。台湾工厂估计有5-6台，主要用于...