芯源微

沈阳芯源微电子设备股份有限公司的主营业务是半导体专用设备的研发、生产和销售。公司的主要产品是光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备。截至2025年6月30日，公司共获得专利授权364项，其中发明专利212项（其中中国大陆地区发明专利187项，中国台湾地区发明专利21项，美国发明专利4项），实用新型专利113项，外观设计专利39项；拥有软件著作权113项。